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首頁商品介紹紫外光(UVA.B.C)/近紅外光(NIR) 材料固化.改質.燒結系統晶圓 UV光阻固化機

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晶圓 UV光阻固化機

> 各燈管反射光路特殊設計,直徑300mm圓5點照度均勻性80%以上.

> 防漏光安全設計,雙開式閘門關起後無漏光.

> 照度監控設計,生產中可動態監控照度.

> 照射燈箱模組化設計,可搭配現行EFEM系統.

> PC BASE MMI 人機介面, A.生產統計管理清單, B.燈管照度/壽命管理清單.

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