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商品介绍
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紫外线晶圆记忆抹除/表面改质机- 8寸/12寸晶圆单片TYPE 3

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紫外线晶圆记忆抹除/表面改质机- 8寸/12寸晶圆单片TYPE

> 254nm 非接触式光波照射,无电弧损伤晶圆线路问题.

> 采用大功率(350W500W)灯管,高254nm照度,高ERASE效率.

> 采栅型灯管并接,高照射均匀度.

> 无臭氧问题/不需厂务热排.

> 操作安全性高(防漏光/抽屉误开熄灯设计).

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UV(254nm) ERASE 制程设备. 灯管耗材 1231973