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晶圆 UV光阻固化机
> 各灯管反射光路特殊设计,直径300mm圆5点照度均匀性80%以上.
> 防漏光安全设计,双开式闸门关起后无漏光.
> 照度监控设计,生产中可动态监控照度.
> 照射灯箱模组化设计,可搭配现行EFEM系统.
> PC BASE MMI 人机介面, A.生产统计管理清单, B.灯管照度/寿命管理清单.
商品介绍
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