首页 商品介绍 紫外光/近红外光 材料固化.改质.烧结系统 晶圆 UV光阻固化机 条列显示 | 图片显示 晶圆 UV光阻固化机 > 各灯管反射光路特殊设计,直径300mm圆5点照度均匀性80%以上. > 防漏光安全设计,双开式闸门关起后无漏光. > 照度监控设计,生产中可动态监控照度. > 照射灯箱模组化设计,可搭配现行EFEM系统. > PC BASE MMI 人机介面, A.生产统计管理清单, B.灯管照度/寿命管理清单.
