晶圆 UV光阻固化机

> 各灯管反射光路特殊设计,直径300mm圆5点照度均匀性80%以上.

> 防漏光安全设计,双开式闸门关起后无漏光.

> 照度监控设计,生产中可动态监控照度.

> 照射灯箱模组化设计,可搭配现行EFEM系统.

> PC BASE MMI 人机介面, A.生产统计管理清单, B.灯管照度/寿命管理清单.