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全自动紫外线晶圆记忆抹除/表面改质机- 8寸/12寸晶圆多片 TYPE
> 254nm 非接触式光波照射,无电弧损伤晶圆线路问题.
> 采用大功率(350W500W)灯管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 采栅型灯管并接,高照射均匀度.
> 无臭氧问题/不需厂务热排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屉误开熄灯设计).
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紫外线晶圆记忆抹除/表面改质机- 12寸6片/8寸15片晶圆 TYPE
> 254nm 非接触式光波照射,无电弧损伤晶圆线路问题.
> 采用大功率(350W500W)灯管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 采栅型灯管并接,高照射均匀度.
> 无臭氧问题/不需厂务热排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屉误开熄灯设计).
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紫外线晶圆记忆抹除/表面改质机- 8寸/12寸晶圆单片TYPE
> 254nm 非接触式光波照射,无电弧损伤晶圆线路问题.
> 采用大功率(350W500W)灯管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 采栅型灯管并接,高照射均匀度.
> 无臭氧问题/不需厂务热排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屉误开熄灯设计).
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晶圆 UV光阻固化机
> 各灯管反射光路特殊设计,直径300mm圆5点照度均匀性80%以上.
> 防漏光安全设计,双开式闸门关起后无漏光.
> 照度监控设计,生产中可动态监控照度.
> 照射灯箱模组化设计,可搭配现行EFEM系统.
> PC BASE MMI 人机介面, A.生产统计管理清单, B.灯管照度/寿命管理清单.
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