AngleResolvedScattering/散射仪粗糙度传感器
光散射感测器和散射仪器为 SpectroNet Jena 所开发, 此精密仪器功能超出了传统的分布亮度计,满足高精度测量的需求。其测量可直接连结对应於实验室设备的测量结果。依循Fraunhofer 专利:WO002010127872A1和DE102012005417B4所述进行缺陷检测分类,提供最严谨的技术规格条件。

ARS (Angel Resolved Scattering)
Focus Scattering Measurements
散射分析仪.粗糙度传感器
对於测量光散射从技术面和光学元件的高阶仪器,主要规格要求为:
ª高动态范围和线性度(在至少5量级的大小)
ª高灵敏度(杂讯等效ARS ~ 10-5 sr-1)对应於低散射损失和粗糙度在次奈米等级
ª大物件区域的特徵(表面均匀性和检测缺陷的特徵)
ª快速测量时间(< 1秒每测量点)