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紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 12吋6片/8吋15片晶圓 TYPE 3

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首頁 商品介紹 紫外光/近紅外光 材料固化.改質.燒結系統 UV(254nm) ERASE 製程設備. 燈管耗材 紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 12吋6片/8吋15片晶圓 TYPE
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紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 12吋6片/8吋15片晶圓 TYPE

> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.

> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.

> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.

> 無臭氧問題/不需廠務熱排.

> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).

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UV(254nm) ERASE 製程設備. 燈管耗材 1231997