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全自動紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 8吋/12吋晶圓多片 TYPE
> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).
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紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 12吋6片/8吋15片晶圓 TYPE
> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).
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紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 8吋/12吋晶圓單片TYPE
> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).
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晶圓 UV光阻固化機
> 各燈管反射光路特殊設計,直徑300mm圓5點照度均勻性80%以上.
> 防漏光安全設計,雙開式閘門關起後無漏光.
> 照度監控設計,生產中可動態監控照度.
> 照射燈箱模組化設計,可搭配現行EFEM系統.
> PC BASE MMI 人機介面, A.生產統計管理清單, B.燈管照度/壽命管理清單.
商品介紹
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