晶圓 UV光阻固化機
> 各燈管反射光路特殊設計,直徑300mm圓5點照度均勻性80%以上.
> 防漏光安全設計,雙開式閘門關起後無漏光.
> 照度監控設計,生產中可動態監控照度.
> 照射燈箱模組化設計,可搭配現行EFEM系統.
> PC BASE MMI 人機介面, A.生產統計管理清單, B.燈管照度/壽命管理清單.
> 各燈管反射光路特殊設計,直徑300mm圓5點照度均勻性80%以上.
> 防漏光安全設計,雙開式閘門關起後無漏光.
> 照度監控設計,生產中可動態監控照度.
> 照射燈箱模組化設計,可搭配現行EFEM系統.
> PC BASE MMI 人機介面, A.生產統計管理清單, B.燈管照度/壽命管理清單.