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全自動紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 8吋/12吋晶圓多片 TYPE
> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).
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紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 12吋6片/8吋15片晶圓 TYPE
> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).
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紫外線晶圓記憶抹除/表面改質機- 8吋/12吋晶圓單片TYPE
> 254nm 非接觸式光波照射,無電弧損傷晶圓線路問題.
> 採用大功率(350W500W)燈管,高254nm照度,高ERASE效率.
> 採柵型燈管併接,高照射均勻度.
> 無臭氧問題/不需廠務熱排.
> 操作安全性高(防漏光/抽屜誤開熄燈設計).
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