AngleResolvedScattering/散射儀粗糙度傳感器
光散射感測器和散射儀器為 SpectroNet Jena 所開發， 此精密儀器功能超出了傳統的分佈亮度計，滿足高精度測量的需求。其測量可直接連結對應於實驗室設備的測量結果。依循Fraunhofer 專利：WO002010127872A1和DE102012005417B4所述進行缺陷檢測分類，提供最嚴謹的技術規格條件。
ARS (Angel Resolved Scattering)
Focus Scattering Measurements
散射分析儀.粗糙度傳感器
對於測量光散射從技術面和光學元件的高階儀器，主要規格要求為：
ª高動態範圍和線性度(在至少5量級的大小)
ª高靈敏度(雜訊等效ARS ~ 10-5 sr-1)對應於低散射損失和粗糙度在次奈米等級
ª大物件區域的特徵(表面均勻性和檢測缺陷的特徵)
ª快速測量時間(< 1秒每測量點)
